为 SK 海力士的下一代存储设备制造提供亚纳米级精度的 3D 过程控制。
中国存储网消息，Infinitesima 宣布 SK hynix， Inc. 已采用 Metron3D 300mm 在线晶圆计量系统并将其用于批量生产。
Metron3D 提供亚纳米级精度的 3D 过程控制，这对于 SK 海力士下一代存储设备的制造至关重要。 在经过广泛的评估期后，系统将应用于多个工艺步骤的表征。
DMI（缺陷分析、计量和检测技术）负责人 Young-Hyun Choi 先生表示：“纳米级的三维工艺控制对于确保先进 DRAM 工艺的高良率变得越来越重要。Infinitesima 的 Metron3D 已经展示了出色的亚纳米 3D 计量技术，以及 HVM 实施所需的拥有成本。
Metron3D 采用 Infinitesima 专有的快速探针显微镜 （RPM） 技术，可在 10× 至 100× 的典型 AFM 通量下提供 AFM 测量能力。该系统的功能还包括全自动晶圆、数据和探针处理，使其成为半导体器件在线批量生产的最佳选择。对这一计量解决方案的投资凸显了SK海力士在计算机内存开发和制造方面保持技术领先地位的承诺。
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